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典型GaN射频器件的工艺流程

2022-09-26

典型的GaN射频器件的加工工艺重要蕴含如下环节::外延成长-器件隔离-欧姆接触(制作源极、、漏极)-氮化物钝化-栅极制作-场板制作-衬底减薄-衬底通孔等环节。。
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